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大多數(shù)測(cè)量顯微鏡采用遠(yuǎn)心光學(xué)器件進(jìn)行透射照明。不使用遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)的顯微鏡會(huì)使附近的物體顯得更大而遠(yuǎn)處的物體顯得更小。
這種現(xiàn)象與我們?nèi)粘J褂玫南鄼C(jī)是一樣的。然而,這一特性意味著在測(cè)量尺寸時(shí),距離較遠(yuǎn)的零件會(huì)比高度方向不同的零件測(cè)量得更小。
對(duì)于使用遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)的鏡頭,即使到鏡頭的距離或焦點(diǎn)在光軸方向上移動(dòng),圖像的尺寸也不會(huì)改變,即使它變得模糊。對(duì)于在用顯微鏡觀察的同時(shí)測(cè)量尺寸的尺寸測(cè)量顯微鏡來(lái)說(shuō),遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)
測(cè)量顯微鏡通過(guò)將物體放置在 XY 平臺(tái)上來(lái)測(cè)量物體。因此,測(cè)量點(diǎn)可以位于 XY 平臺(tái)操作范圍內(nèi)的任何位置。換句話說(shuō),無(wú)論待測(cè)物體位于XY平臺(tái)上的哪個(gè)位置,您只需將XY平臺(tái)移動(dòng)到測(cè)量點(diǎn)并進(jìn)行測(cè)量即可。
有些待測(cè)量的角度和圓直徑可能需要 XY 平臺(tái)的較大移動(dòng),但如果不進(jìn)行特殊調(diào)整,待測(cè)物體的輪廓永遠(yuǎn)不會(huì)與 XY 平臺(tái)的移動(dòng)平行。因此,在測(cè)量前,需要使XY平臺(tái)的移動(dòng)與被測(cè)物體的參考邊緣平行。
另外,如果被測(cè)物體與XY平臺(tái)不平行,在測(cè)量角度和平行度時(shí)會(huì)出現(xiàn)較大誤差。因此,需要進(jìn)行計(jì)算來(lái)修正測(cè)量結(jié)果。近年來(lái),制造商推出了一系列測(cè)量設(shè)備,可以在 XY 平臺(tái)上創(chuàng)建坐標(biāo)系,并根據(jù)原點(diǎn)和測(cè)量點(diǎn)的坐標(biāo)進(jìn)行計(jì)算。通過(guò)使用它,可以減少平行對(duì)準(zhǔn)步驟的數(shù)量。
對(duì)于顯微鏡來(lái)說(shuō),能夠以大的放大倍率觀察物體很重要,但能夠立即獲得寬廣的視野也很重要。使用顯微鏡一次可以看到的面積稱為視場(chǎng),視場(chǎng)由目鏡的直徑?jīng)Q定。
視場(chǎng)的大小稱為視場(chǎng)數(shù),實(shí)際視場(chǎng)表示被測(cè)物體表面有多少部分在視場(chǎng)內(nèi)可見(jiàn)。實(shí)際視場(chǎng)角與鏡頭倍率的關(guān)系如下。
實(shí)際視場(chǎng)=目鏡視場(chǎng)數(shù)/物鏡放大倍數(shù)
從上式可以看出,在目鏡視場(chǎng)數(shù)相同的情況下,隨著物鏡放大倍數(shù)的增大,實(shí)際視場(chǎng)范圍會(huì)變窄。這說(shuō)明增加物鏡的放大倍數(shù)以放大待測(cè)物體與一次可以看到的范圍之間存在一種權(quán)衡。
要增加視野,必須增加目鏡的直徑或減小物鏡的放大倍數(shù)。然而,由于測(cè)量需要放大倍數(shù),因此物鏡的放大倍數(shù)可以減小多少是有限度的。因此,測(cè)量顯微鏡具有 XY 平臺(tái)和顯示移動(dòng)量的計(jì)數(shù)器,并配備了測(cè)量不適合視野的區(qū)域的裝置。
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