愛安德分享什么是測量顯微鏡？

測量顯微鏡是一種尺寸測量裝置，可根據(jù)使用顯微鏡放大和觀察的圖像來測量尺寸。

它結(jié)合了具有精確放大倍率的光學(xué)顯微鏡、用于比較測量的模板以及用于在平面上精確移動測量工件的XY 平臺。使用測量顯微鏡可以進(jìn)行非接觸式測量，從而可以在不損壞工件的情況下觀察輪廓和表面。

測量顯微鏡通常使用遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)。近年來，一些型號在光學(xué)頭中采用了無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，可以進(jìn)行微分干涉觀察和簡單的偏振觀察。

除了測量尺寸外，它還可以用于使用偏振光和微分干涉進(jìn)行觀察，例如檢測半導(dǎo)體基板上的劃痕。由于放大倍數(shù)的準(zhǔn)確性，通過使用模板進(jìn)行比較測量來確定產(chǎn)品是否在公差范圍內(nèi)，對于簡單的檢查也很有用。

測量顯微鏡既可以用作測量裝置，也可以用作顯微鏡，并且一臺裝置可以用于多種用途。